超純水過濾

超純/DI水在整個半導體制造過程中大量使用。多年來,去離子水的質量標準越來越嚴格,過濾技術已經發展到可以滿足這些要求。
 
用于生產超純水的超純水機過濾器必須做到以下幾點:
具有低含量的可提取物,因此過濾器不會將污染物引入水系統
用**少的水流沖洗**18兆歐厘米電阻率和單位數字ppb TOC
**終濾波器必須進行完整性測試/測試,以確保達到規定的微米級別的性能
從一批到另一批一致地執行
即使差壓增加并且不會掉落任何介質,也必須保留捕獲的污染物
在干凈的環境或潔凈室內生產
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